无油干泵：洁净高效真空技术，赋能高端制造新未来

在半导体芯片制造、生物医药研发、新能源电池生产等高端领域，真空环境是保障工艺精度与产品质量的核心条件。然而，传统油润滑真空泵因油污染、维护复杂、能耗高等问题，逐渐难以满足现代工业对高洁净度、高可靠性、高效率的需求。无油干泵作为真空技术的革新代表，凭借其“无油、无污染、低维护”的显著优势，正成为高端制造领域不可或缺的关键设备。  

一、无油干泵：重新定义真空技术的核心优势  

无油干泵是一类无需润滑油润滑的真空泵，通过机械结构（如螺杆、爪式、涡旋等）直接压缩气体，从根本上避免了油蒸汽对工艺环境的污染。其核心价值体现在以下维度：  

1. 极致洁净，适配高要求场景  

在半导体刻蚀、光伏镀膜、制药中间体合成等工艺中，哪怕微量的油污或颗粒都会导致产品良率下降甚至报废。无油干泵的泵腔内无润滑油，且部分型号采用防腐涂层（如镍磷、特氟龙）或特殊密封设计，可稳定处理含粉尘、腐蚀性气体（如有机溶剂蒸汽、酸碱蒸气），确保真空环境的绝对纯净。例如，半导体芯片制造中，无油干泵能将真空腔室的颗粒污染控制在极低水平，助力芯片良率提升10%-20%。  

2. 低维护高可靠，降低综合成本  

传统油泵需定期更换润滑油、清洗油路，维护周期短且成本高；而无油干泵的螺杆转子、爪式叶片等核心部件无接触磨损（如非接触式螺杆设计），寿命普遍超过30,000小时，仅需定期清洁进气口、检查密封件即可。数据显示，无油干泵的全生命周期维护成本较油泵降低约40%，尤其适合连续运行的产线。  

3. 节能高效，响应“双碳”目标 

无油干泵采用优化型线设计与高效电机，部分机型能耗较传统油泵降低30%以上。例如，螺杆式无油干泵通过多级压缩技术，在实现高极限真空度（可达0.1Pa量级）的同时，保持低功耗运行，助力企业降低碳排放与用电成本。  

二、技术分类与场景适配：精准匹配多元需求  

无油干泵根据结构原理可分为三大主流类型，各自针对特定场景优化设计：

    以珂勒曦研发的无油螺杆干泵为例，其采用非对称型线设计，极限真空度达0.1Pa，抽速覆盖100-800m³/h，且支持防腐涂层定制，已成功应用于半导体晶圆制造与化工废气处理环节，帮助客户实现“零油污、零故障”的稳定生产。  

 

三、行业应用：高端制造的“隐形守护者”  

▶ 半导体与电子：芯片良率的“关键保障”  

在芯片制造的光刻、刻蚀、封装等环节，真空环境需达到超高洁净度（颗粒数＜1个/cm³）。无油干泵通过无油压缩与精密气流控制，避免了油蒸汽对光刻胶的污染，同时稳定的真空度保障了刻蚀精度的微米级控制，是12英寸以上晶圆产线的标配设备。  

▶ 生物医药：无菌生产的“纯净引擎”  

制药中间体的真空干燥、冻干制剂的生产过程中，油污染可能导致药物活性成分降解。无油干泵的无接触设计（如爪式转子）与耐腐蚀材质（如316L不锈钢），可安全处理含酒精、有机溶剂的混合气体，确保药品生产符合GMP（药品生产质量管理规范）标准。  

▶ 新能源：绿色生产的“高效助力”  

锂电池的电极材料干燥、燃料电池的双极板真空封装等工艺，要求真空系统兼具快速抽气与防爆性能。无油干泵通过防爆电机（可选配）与耐高温密封技术，可在锂电产线中实现高效抽气（抽速＞500m³/h），同时避免氢气等易燃易爆气体的安全风险。  

四、选择建议：如何匹配您的工艺需求？  

企业在选购无油干泵时，需重点关注以下维度：  

- 极限真空度：根据工艺要求选择（如半导体需≤0.1Pa，一般工业≥1Pa即可）；  

- 气体兼容性：若处理腐蚀性或含颗粒气体，需选择防腐涂层或耐磨转子机型；  

- 能耗与维护：优先考虑变频控制（节能）与模块化设计（易维护）的型号。  

 

结语 

无油干泵不仅是真空技术的迭代，更是高端制造向“高洁净、高可靠、绿色化”转型的缩影。珂勒曦动力设备股份有限公司深耕无油真空领域多年，其螺杆式、爪式无油干泵已通过多项国际认证（如CE、ATEX），并为半导体、制药、新能源等行业提供了数千台稳定运行的设备。  

 

如果您正在为产线的油污染问题困扰，或需要适配特殊气体（如腐蚀性、易燃性）的真空解决方案，不妨联系珂勒曦技术团队（400-886-7766），获取免费工艺适配咨询与设备选型指导——让无油干泵成为您高端制造的“隐形守护者”。